随着生产与科技的高速发展，测量技术的不断深化，目前热电偶在工业生产中的地位更日益突出，运用更为广泛。对于以生产半导体器件为主的我厂来说，热电偶在上产控制及测量中也有较大的比例，特别是对于前道扩散工序来说，热电偶的使用更是必不可少。下面就以热电偶在扩散工序中的使用为例阐述热电偶在我厂的实际运用。由于在扩散工艺中，扩散炉温大都在1000℃以上，且要求的精度高、稳定性好。所以，热电极材料大都采用贵金属材料铂铑-铂，其直径取0.5mm。签于铂铑10-铂热电偶的热电势较小，所以过去常与其配套的显示仪表用灵敏度较高的直流反射式检流计AC9/4和低电阻直流电位差计UJI(其精度为0.05%)，以保证测温热电偶产生的热电势数值能在直流电位差计上精确读取。标准电池配用Ⅱ级标准电池(其技术参数为：20℃时电动势实际值1.01850～1.01870V，年变化量100V=，配电工作电源：1.9～3.5V(工作时间工作电流为32mA)。随着高精度数字电压表在位数和精度上的高速发展，目前直接读数的测量已越来越多的使用数字表，如Agilent数字表直接测量，该方法简单、方便、直观、准确已得到广泛的运用。当正常使用铂铑10-铂热电偶扩散炉测温时，其一般长度为最大插入深度的30%以上。加装绝缘保护管起绝缘、支撑与固定作用，其材料选用纯度的氧化铝管(含量95%以上)。对电热偶测量端接头的焊接工艺应加以足够的重视，接点焊点质量的好坏将会对测量结果带来直接影响。较常见的有断路、热电势不稳和寄生电势的产生等干扰的存在，因此要求焊点不仅要焊牢，而且要光滑，不得有沙眼和裂纹。另外，为减少传热误差和动态响应误差对测量结果带来的影响，还需注意，焊点的直径要尽量小，通常为热电极直径的2～3倍(即：1～1.5左右)，在低温测量中更应注意，将被焊的热电极接电源正极，碳棒端接电源负极，以避免热电偶测量的渗碳现象。对于标准热电偶来说，一般采用点焊，要求热电极丝不能扭结，焊接电压由调压器控制，要保证焊点光滑、且大小适中。济南仁硕电子科技有限公司，集热电偶、热电阻温度传感器，智能、常规温度变送器等生产、销售、维修、技术咨询于一体，与多家企业建立了长期稳定的合作关系.

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